金相顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無法在普通的透射光顯微鏡中觀察，因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光，而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀察物體表面，被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測(cè)工作。
今天小編給大家講講如何校準(zhǔn)金相顯微鏡的誤差?
1.物鏡放大倍數(shù)的正確性：裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。調(diào)查時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測(cè)是放大倍數(shù)的偏差。其余物鏡以此類推舉行校校準(zhǔn)，其偏差不大于5%。
2.目鏡分劃板的準(zhǔn)確度：將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距;調(diào)解工作臺(tái)，使分劃板的水平線與萬工顯縱導(dǎo)游軌行程平行并對(duì)好零位，按每20格測(cè)量一次，直到第100格，其偏差不大于5um。
3.物鏡成像清楚局限：用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣舉行調(diào)焦，使成像清楚。當(dāng)視場(chǎng)中心像非常清楚時(shí)，測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清楚局限的偏差不低于60%。
4.各物鏡相對(duì)于目鏡的格值：裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺(推薦應(yīng)用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊;調(diào)解測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包括測(cè)微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推舉行校準(zhǔn)。
